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半導體制造業中氮氣中的在線露點儀選用英國肖氏進口露點分析儀

更新時間:2019-06-03      點擊次數:1091

半導體制造業中氮氣中的在線露點儀選用英國肖氏進口露點分析儀

   

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半導體制造業中氮氣是非常常用的氣體,通常在氮氣中需要檢測微量水含量,而英國肖氏進口露點儀在這種應用中很常見。

現代社會里,氣體是*的一個重要組成部分。在衣食住行的各個環節,幾乎都離不開氣體。以芯片制造廠為例,他們在生產芯片的薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積和擴散過程中,就少不了電子氣體。不同領域對氣體的要求不一樣,給供應商提出了*的技術要求。在發展多年之后,的氣體供應以四大供應商主導,分別是林德集團、法國液化空氣集團、普萊克斯和空氣產品公司。
氣體如此重要,甚至連它們的提取、儲存、運輸和轉充都給人帶來了極大的神秘感。為了對這個產業有更多的了解,半導體行業觀察記者近日走訪了林德集團在中國的幾家工廠,為大家揭開其神秘的面紗。半導體制造業中氮氣中的在線露點儀選用英國肖氏進口露點分析儀
空氣分離裝置是根本主要產品:SADP露點儀|在線露點儀肖氏露點傳感器|肖氏露點儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點儀品牌|露點儀價格|露點儀批發|露點儀廠家
行內的人都知道,林德集團創始人卡爾林德的一大貢獻就是發明了空氣液化分離。
公開資料顯示,1895年,德國人卡爾·林德研究成功了一次節流循環液化空氣的方法,這是*簡單的深度冷凍循環。它采用節流膨脹和逆流換熱,稱為林德循環。1902年,德國林德公司制成了**套林德循環單級精餾工業裝置,自此開始了林德集團在氣體領域的偉大征程。
據林德電子市場開發負責人Paul Stockman博士介紹,林德在過去的一百多年里通過其旗下的林德工程向80個國家和地區提供了3000套裝置,而公司旗下的林德氣體擁有和運營400套。通過這些裝置,能夠為的客戶提供氧氣和氮氣等氣體供應,滿足他們的需求。設計和建造空氣分離裝置是林德傳統業務的一部分,一切都得益于他們在空氣分離技術方面的積累。聯華工業氣體(蘇州)有限公司工廠經理李慧崗也表示,自1902年制造**套制氮機以來,空氣液化分離一直林德的專長。半導體制造業中氮氣中的在線露點儀選用英國肖氏進口露點分析儀主要產品:SADP露點儀|在線露點儀肖氏露點傳感器|肖氏露點儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點儀品牌|露點儀價格|露點儀批發|露點儀廠家
林德的空氣分離原理
從他的介紹中我們得知,林德的空氣分離工藝流程分為五個部分,分別是Air Compression(空氣壓縮)、Air Purification(空氣凈化系統)、Cooling and Re-warming(冷卻和再加熱)、Separation by distillation(蒸餾分離)和后備系統。
具體操作是首先在Air Compression環節將空氣壓縮到一定壓力等級并冷卻到環境溫度;然后在第二步(Air Purification)通過預純化裝置(PPU)帶催化劑,去除空氣中的雜質,把空氣中的水分**掉;到了Cooling and Re-warming(冷卻和再加熱),則通過熱交換器對壓縮空氣進行冷卻,把正常的空氣溫度冷卻(通常會達到-174到-175左右),這時候空氣就接近于液化溫度;Separation by distillation(蒸餾分離)則是林德比較優勢的一個工藝,經過這一步,空氣就能進入精餾塔底部,經過深度冷卻分離,從頂部抽取高純氮氣。主要產品:SADP露點儀|在線露點儀肖氏露點傳感器|肖氏露點儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點儀品牌|露點儀價格|露點儀批發|露點儀廠家同時可以經過工藝調整,在冷箱上附設氧氣精餾塔,用以生產高純度氧氣;
“通常,從這個氮氣裝置里面生產出來的產品會達到20個PPB以下,再經過純化系統可以達到1個PPB以下滿足客戶的需求”,李慧崗強調。半導體制造業中氮氣中的在線露點儀選用英國肖氏進口露點分析儀
*后,林德還提供一個后備系統,將富余產品經過液化后存儲在儲罐中備用。它的主要作用就是說在裝置遇到緊急情況的時候,這個后備系統的富余氣體能補充到整個管網里面,確保整個管網的平穩運行。
通過空氣分離裝置、氦氣與合成氣體裝置、天然液化氣裝置與石化裝置,林德集團在國內獲得了客戶的高度認可。他們生產的各種氣體也能通過多樣化的傳送方式為客戶提供高品質的服務。主要產品:SADP露點儀|在線露點儀肖氏露點傳感器|肖氏露點儀|頂空分析儀|藥品殘氧儀|壓縮空氣露點儀|Mocon透氧儀|膜康透濕儀|PBI頂空分析儀|露點儀品牌|露點儀價格|露點儀批發|露點儀廠家

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